반도체 FDC에 사용 가능하도록 PLC등에 사용되는 산업 표준인 Modbus(반도체의 SECS/GEM과 유사한 프로토콜)를 개발  탑재하였습니다.

(Sensor Integration Kit (Original Edition), DAQ Sensor 로 불림, UE9-기반 제품)

이 Modbus를 통하여 반도체 장비의 센서 값을 읽고 쓸 수 있습니다.

  • 14 개의 센서 값을 동시에 읽기 가능 
  • 2 개의 Analog 출력 가능 
  • 센서 이상 유무의 간접 판단을 위한 내부 온도 측정 가능

    예: 반도체 공장 2층에 있는 Etch/CVD/PVD/CMP등의 장비 센서 값을 3층 사무실에서 수집, 분석, 처리, 저장등을 하고 있습니다

    반도체 라인에서 바로 적용가능하도록 저희 사무실에서 Modbus 프로토콜 사전 탑재하여, 관련 설정 완료한 후 Test까지 사전 완료후 납품하므로 바로 사용 가능합니다.

    참고:
    http://en.wikipedia.org/wiki/Modbus



  • 2013년 12월 SIK2 (Sensor Integration Kit 2nd Edition) 출시 

      /goods/view?no=576


    2013년 12월 내용 갱신 - SIK2 출시