제품 Size : 245*100*236 mm (W*H*D)



품명: DAQ Sensor H2, Sensor H2, H2, Powered by ezDAQ


반도체 및 디스플레이 산업에서 사용하는  HSMS 통신중에서 FDC 에 필요없는 부분을 빼고 FDC에 딱 필요한 102% 만 지원합니다.

기본 통신용 메시지 및, SVID 관련 메시지, 그리고 TRID 관련 메시지를 지원합니다.

(자료는 사정상 올리지 못하고 요청하시는 분께 드리겠습니다)


FDC에 사용되는 HSMS를 통하여 반도체 장비의 센서 값을 읽고 쓸 수 있습니다.

  • 2 개의 Analog 출력 가능 
  • 14 개의 센서 값을 동시에 읽기 가능 
  •  센서 이상 유무의 간접 판단을 위한 내부 온도 제공
  •  1μV 측정가능, TC(열전쌍, Thermocouple) 직접연결 가능

  • 사무실에서 데이타를 실시간으로 바로 볼 수 Viewer 프로그램을 무상으로 제공합니다.

  • 자체적으로 데이타 로깅 기능을 수행합니다. (idle time 로깅 설정 가능)


  •  예: 반도체 공장 2층에 있는 Etch/CVD/PVD/CMP등의 장비 센서 값을 3층 사무실에서 수집, 분석, 처리, 저장등을 하고 있습니다

    반도체 라인에서 바로 적용가능하도록 고객사에 맞추어 변경/개발해 드립니다







    • 2007년 출시되었던 SIK (Sensor Integration Kit, original Edition) 정보 

      /goods/view?no=255   << DAQ Sensor M




    참고: T7, CB37, Setup, Test, Service, DAQ Sensor, SIK, Specially Designed/Developed Low-cost Controller by ezDAQ 

    Low-cost Controller: Controller-only, Control/monitor by remote desktop, (monitor, keyboard,  mouse NOT included)  


    ** 지난 이력 **

    2014년 01월 24일 모델구상 (SIK-H2)

    2014년 05월 11일 모델명 변경 (Sensor H2)

    2014년 11월 13일 (수능일) 시연 시작

    2015년 01월 20일 양산 공장 적용 시작